研究所拥有包括180平方米1000级超净室在内的科研用房2160平方米，具备优良的科研条件。研究所现有TeraView太赫兹系统、太赫兹低温磁光谱系统、自制三轴光学相干测振仪、动静态多轴疲劳试验台、动态热机械分析仪、晶圆厚度在线测量仪、光学相干光纤式力值动态测量仪、光学相干三维检测仪、机械手、紫外固化仪、自搭建飞秒激光微加工系统、智能感知与控制系统等多种科研仪器与设备，可为公众开放，提供社会服务。