2024年2月23日，哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院院长刘俭教授应邀做客福建省太赫兹功能器件与智能传感重点实验室，并进行学术交流。实验室主任钟舜聪教授首先对刘俭教授的到来表示热烈欢迎，并向刘俭教授介绍了实验室的各个研究方向及总体发展情况。

刘俭教授受邀为学院师生做了题为“超精密三位显微测量及缺陷检测的误区与挑战”的学术讲座。讲座中，刘俭教授介绍了中介层荧光共焦显微测量技术，结合测量原理可以同时克服光学三维显微测量中的反射逃逸效应、散射振荡效应和透波干涉效应，大幅提升光学超精密测量的能力，以该技术为基础的相关仪器为我国国防重大科技工程提供了超精密测量仪器保障。同时，刘俭教授也介绍了一种三维测量的定值与仪器校准方法（英文简称LEL），可以克服蝠翼效应的影响，进而判定光学显微仪器的有效表征能力，该方法被收录到ISO国际标准，填补了国际标准计量的理论空白，同时该方法也被用于制定我国首部共聚焦显微镜的国家标准。此外，刘俭教授也介绍了他在亚表面缺陷测量领域的一些研究工作，针对光学加工亚表面缺陷的无损检测需求，介绍了一种新的具有高分辨率轴向层析特性的光学显微测量机制，这些方法可以为硅晶圆和高能激光诱导核聚变、空间光学成像等系统中光学元件加工检测提供测量理论与关键的技术支撑。刘俭教授用通俗易懂的语言，深入浅出地向在场师生讲述了其科研历程，引发在场师生的强烈兴趣与热烈讨论。

报告会后，刘俭教授在钟舜聪教授的带领下参观了重点实验室的各个实验室。各实验室在场的老师与同学向刘俭教授分享了本所的部分科研成果，并与刘俭教授进行了深入的交流和讨论。

此次交流活动为本实验室在光学精密测量领域的研究工作带来了丰富的新思路，同时也扩展了本实验室师生的科研视野，为师生们提供了一个与高水平学者共同探讨、交流经验的平台。未来，福建省太赫兹功能器件与智能传感重点实验室将进一步加强与同领域高水平专家学者的合作与交流，共同推动光学精密测量领域的创新与发展。福建省太赫兹功能器件与智能传感重点实验室也将继续努力，砥砺前行，为精密仪器与智能测控领域的发展做出更大贡献。